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突破國際專利限制,首創 12 吋複合型原子層鍍膜(Hybrid ALD)枚葉式設備。以獨創縱橫雙向流與離散脈衝技術,在高深寬比(AR 20:1)奈米結構實現 90% 均勻保形披覆,縮短 50% 傳輸抽氣時程,大幅提升 20% 產能並兼具綠色節能效益


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具備超過 20 年半導體薄膜設備與製程整合深厚底蘊。全方位提供 8 吋與 12 吋 CVD、PVD、ALD 關鍵零組件(Al Heater、Side Coil、精密腔體)自主設計製造、陶瓷金屬異質焊接、超高潔淨清洗及深層整機翻新技術,自主化比例高達 70%

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全球半導體領導大廠 AMAT 認證之頂尖合作商,服務實績深獲台積電、美光、力積電與世界先進等一線晶圓廠肯定。2023 年榮獲素有科技界奧斯卡之稱的「全球百大科技研發獎(R&D 100 Awards)」,以厚實專利屏障賦能次世代 Å 世代先進製程

前瞻研發 ‧ 核心自主 ‧ 卓越製造

Breaking news

202609.02

2026 SEMICON Taiwan 國際半導體展

旭宇騰精密科技半導體薄膜 ALD 設備 Aevonix 展示

202311.17

2023 研發界奧斯卡之稱的"全球百大科技研發獎"

與 ITRI 合作獲獎2023 R&D 100 Awards

201402.14

2014 全球半導體龍頭 AMAT 認證頂尖翻修商

與 AMAT 合作 8 吋, 12 吋機台翻修組裝

Innovation Technology

Aevonix ALD

友善職場

本公司提供優質的工作環境,及三節獎金、免費健康檢查、員工旅遊、員工聚餐...等福利措施。

教育訓練

員工才是推動企業成長最重要的關鍵因素,本公司安排各種內部教育訓練課程及在職訓練,使員工與公司共同成長。

產學合作

本公司與明新科技大學合作多項專案,共同培養專業人才。